На разработку оборудования для микроэлектроники выделят 1,4 млрд рублей
Минпромторг России выделит 1,43 миллиарда рублей на проведение опытно-конструкторских работ на разработку оборудования по обработке кремниевых пластин для микроэлектроники, тендер на соответствующие работы опубликован на портале госзакупок. «Целью выполнения ОКР (опытно-конструкторских работ — ред.) является разработка, изготовление и подготовка к постановке на производство автоматизированной установки спрейного жидкостного химического травления пластин до 200 миллиметров», — говорится в прилагаемой к тендеру документации. Там уточняется, что установка предназначена для выполнения операций химического травления и химической обработки поверхности кремниевых пластин в составе оборудования микроэлектроники.
Согласно информации в описании контракта, его цена составляет 1,43 миллиарда рублей, а исполнитель был определен 19 июня, но информация о нем скрыта. Срок исполнения контракта установлен на 30 ноября 2029 года.
Оборудование, исходя из требуемых технических характеристик, прописанных в документации, должно обрабатывать пластины диаметром 100,150 и 200 миллиметров, а также обеспечивать обработку не менее 100 единиц за 1 рабочий цикл. При этом ключевые элементы установки должны быть российского производства, а использование импортных комплектующих должно быть согласовано с заказчиком.
